| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 7 |
High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma 이태영, 이일훈, 이광희, 정지원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 6 |
HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성 민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
| 5 |
HBr/Ar과 Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각 민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
| 4 |
Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각 민수련, 조한나, 임성근, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 3 |
Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각 민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
| 2 |
HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성 민수련, 정지원, 이장우, 조한나 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
| 1 |
고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
