화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
4 Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
3 Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a O2/Ar Plasma
이일훈, 이태영, 정지원
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
2 HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회
1 SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각
송영수, 신 별, 정지원
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회