| 번호 | 제목 |
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ArF 노광에 의한 MoSiON mask의 Critical Dimension 변화억제 추혁성, 서동완, 오은석, 임상우 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Phase Shift Mask의 표면개질에 의한 Critical Dimension 변화억제 추혁성, 임상우 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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SC-1 세정 시 표면처리에 따른 Phase Shift Mask의 Critical Dimension 변화 추혁성, 임상우 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
