| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |