번호 | 제목 |
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Capacitively Coupled O2 and Ar Plasma Treatment Effects on Zinc Oxide and Al-doped Zinc Oxide Thin Films Deposited Using Spray Pyrolysis at Flow ratio, RF Power and Plasma Exposure Time 박상혁, 정연욱, 황덕호, 박진표, 황선정, 이제원, 조관식 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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RF 전력과 산소 유량비에 따른 투명전극용 AZO박막의 특성 비교|Effects of RF power and O2/Ar flow ratio on the properties of AZO thin films for transparent electrodes deposited by RF magnetron sputtering 임근빈, 박민우, 이종무 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |