화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Plasma Damage Protection Processes for Nanoporous Ultralow Dielectrics
조성민, 양태경, 이희우
한국고분자학회 2017년 봄 학술대회
3 Improved Plasma Resistant of Ultralow Dielectrics by Increased Carbon Contents
조성민, 양태경, 이희우
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회
2 Enhanced Plasma-Induced Damage Resistance of Nanoporous Ultralow Dielectrics by Increased Carbon Content
조성민, 이희우
한국고분자학회 2014년 가을 학술대회
1 New Spin-on Ultralow Dielectrics for reduced Plasma Damage
김원기, 김진옥, 조성민, 이희우
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회