| 번호 | 제목 |
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DHF을 사용한 Brush scrubbing에 발생하는 PVA brush의 변화 연구 진승완, 황준길, 한광민, 김동규, 조휘원, 김태곤, 박진구 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Quantitative Comparison of Silica and Ceria Abrasive Contamination on PVA Brush and Its Effect on Post CMP Cleaning Process 조휘원, 류헌열, 황준길, 이찬희, 김여호, 김태곤, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
