번호 | 제목 |
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Fabrication of anti-ESD photomask with charge channeling by introducing transparent conductive material between chromium patterns through partial erosion control of resist 인장식, 정대용, 김승욱, 김삼정 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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IPA를 첨가한 세정액 내에서의 acoustic cavitation 거동 연구 김향란, 강봉균, 김민수, 박진구 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
3 |
Nano size의 CO2 Gas cluster를 이용한 반도체 건식 세정에서 오염입자 제거와 미세 패턴 damage에 관한 연구 김민수, 강봉균, 이승호, 정지현, 윤덕주, 박진구 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
2 |
Thermal expansion of ITO-PET substrates with varying heat treatments 이효수, 방제오, 채경훈 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
1 |
Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using C4F8(Octafluorocyclobutane) precursor. 성미린, 이계영, 김규채, 이선영, 임현우 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |