| 번호 | 제목 |
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| 5 |
Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석 양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
| 4 |
Properties of Inductively Coupled Plasma Source Applied to Internal Linear Antenna using Superimposed Dual Frequency 이수정, 김도한, 김태형, 김수강, 이원오, 김경남, 염근영 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 3 |
Properties of Superimposed Internal Linear ICP Source Using Dual Frequency 김도한, 염근영, 김태형 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 2 |
Unprecedented Method of Epitaxy Silicon Growth at 200 °C using Very High Frequency Plasma Enhanced Vapor Phase Epitaxy 김가현, 홍지은, 김남우, 윤현, 조임현, 서관용, 김동석 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
| 1 |
Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
