화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Development of Batch Proportional-Integral-Derivative Controller
김경훈, 김상희, 유경환, 권원현, 성수환
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회
3 Methods and properties of quadratic iterative learning control for semi-conductor processes under different perturbations
박준형, 이광순
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
2 Combined Run-to-Run and Real-time Multivariable Control for Wafer Temperature Uniformity in a 12-inch RTP Equipment
원왕연, 윤우현, 이광순, 지상현, 나병철, 이세찬
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
1 Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasma Etching of SiO2: Multivariable Controller Design and Numerical Application
서승택, 이광순, 양대륙, 최범규
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회