번호 | 제목 |
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Pt 박막의 패터닝 형성 및 저항소자의 온도-저항 특성 연구|The patterning of Pt thin film and temperature-resistance characteristics of RTD 원종각, 김지광, 김종성|Jongkak Won, Jikwang Kim, Jongsung Kim 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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사진공정을 이용한 RTD(Resistance Temperature Detector) 센서의 제조|The Fabrication of RTD(Resistance Temperature Detector) sensor using Photolithography 김지광, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Jongsung Kim, Younghwa Shin 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |