| 번호 | 제목 |
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Study on a new microwave remote plasma source for high flow rate(20 slm) F-radical generation 추원일, 유현종 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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Three Dimensional Simulation of the Process Gas Flow Pattern in a Plasma Enhanced Rapid Thermal Processor for Process Performance Analysis 주상래, 이혜원, 서승택, 이광순 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
