화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 New pretreatment technique for surface improvement of Ru films in Ru-MOCVD
한 희, 김재정
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
2 Ru-MOCVD 공정의 CFD해석|CFD Analysis of Ru-MOCVD Process
최길호,윤도영,김재정|Kil-Ho Choi,Do-Young Yoon,Jae Jung Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
1 Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 및 Iodine 의 효과|CFD Analysis of Ru-MOCVD Process: Effect of Iodine
정두환, 윤도영, 김재정|Doo-Hwan Jeong, Do-Young Yoon, Jae-Jeong Kim
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회