번호 | 제목 |
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New pretreatment technique for surface improvement of Ru films in Ru-MOCVD 한 희, 김재정 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Ru-MOCVD 공정의 CFD해석|CFD Analysis of Ru-MOCVD Process 최길호,윤도영,김재정|Kil-Ho Choi,Do-Young Yoon,Jae Jung Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
1 |
Ru-MOCVD 공정의 CFD해석 및 Iodine 의 효과|CFD Analysis of Ru-MOCVD Process: Effect of Iodine 정두환, 윤도영, 김재정|Doo-Hwan Jeong, Do-Young Yoon, Jae-Jeong Kim 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |