화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Study of Slurry pH and Oxidizer on Ge-doped SbTe for High Speed PRAM CMP
Jun-Hee Shin, Jong Woong Baek, Sang Hwa Woo, Jin Hyung Park, Jea Gun Park
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
4 Study of Slurry pH and oxidizer on Ge-doped SbTe film in PRAM CMP
Soo-Beom Kima, Jong-Young Cho, Jae-Hyung Lima, Hee-Sub Hwang, Jin-Hyung Park, Eung-rim Hwang, Jea-Gun Park
한국재료학회 2012년 가을 학술대회
3 Role of H2O2 as oxidizer on the Ge-doped SbTe film for Chemical Mechanical polishing
Sang-Hwa Woo, Jea-Gun Park, Jong-Young Cho, Hao Cui, Eung-Rim Hwang, Jin-Hyung Park
한국재료학회 2012년 가을 학술대회
2 Co-evaporator로 증착한 Sb-Te 박막의 열전특성
이광은, 이희정, 박현성, 김정엽, 한승우
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
1 Te기반 칼코제나이드 반도체 박막의 초해상 기구 규명에 관한 연구 (An experimental investigation on the origin of super-resolution effects of Te-based chalcogenide semiconducting thin films)
이현석, 이택성, 정증현, 김원목, 김동환, 정병기
한국재료학회 2006년 가을 학술대회