| 번호 | 제목 |
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반도체 제조용 실란 PCVD 반응기에서의 입자 오염|The Particle Contamination in Silane PCVD Reactor for Semiconductor Fabrication 김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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실란 PCVD 반응기에서 공정 변수 조건에 따른 입자 거동|The Movements of Particles in Silane PCVD Reactor for Various Process Conditions 김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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공정 변수 변화에 따른 실란 PCVD 반응기에서의 입자 특성|The Characteristics of Particles in Silane PCVD Reactor Changing the Process Variables 김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
