| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Chemical vapor deposition of TaCxNy films using tert-butylimido tris-diethylamido tantalum (TBTDET) : Reaction mechanism and film characteristics Suk-Hoon Kim, Shi-Woo Rhee 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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Chemical vapor deposition of TaCxNy films using tert-butylimido tris-diethylamido tantalum (TBTDET) : Reaction mechanism and film characteristics Suk-Hoon Kim, Shi-Woo Rhee 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |