번호 | 제목 |
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SiO2용 TEOS/O2 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실험적 분석 홍성택, 김교선 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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TEOS/O2 플라즈마 반응기에서 실리카 미립자 성장분석|Analysis on Silica Particle Growth in TEOS/O2 Plasma Reactor 홍성택, 김동주, 김교선|Sung-Taik Hong, Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |