화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Structure and properties of SnO-B2O3-P2O5 Glasses
Dong-Hwan KIM, Bong-Ki RYU, Dong-Gun GWOO, Tae-Hee KIM, Kyung-Bum KEE
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
4 저유전체 SiCFO 박막의 PECVD 제조 및 특성|Properties of Low-k SiCFO Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
김태희, 한윤봉|Tae-Hee Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회
3 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 저유전체 박막의 제조 및 특성|Plasma enhanced chemical vapor deposition and characterization of low-k dielectric thin film
김태희,홍주형,한윤봉|Tae-Hee Kim,Joo-Hyung Hong,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
2 고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching
임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
1 H2S-O2 혼합기체를 이용한 탄소 나노튜브 정제|Purification of Carbon Nanotubes using H2S-O2 Mixed Gases
정 탁, 최락준, 김태희, 한윤봉|Tak Jeong, Rak Jun Choi, Tae Hee Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회