화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Investigation of Co and CoSi2 formed by two step annealing with Ti capping layer
김현정, 박진규, 전희영, 장우출, 송효석, 전형탁
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
1 원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구
송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준
한국재료학회 2012년 봄 학술대회