화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Atomic Layer Chemical Vapor Deposition and Characterization of Ti-silicate Gate Dielectrics Using Tetrakis-diethylamido Titanium (TDEAT) and Tetrabutoxyorthosilane (TBOS)
이승협, 이승재, 용기중
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
2 ALCVD를 이용한 Hf-silicate, Ti-silicate 게이트 산화막 성장 및 특성 연구
이승재, 용기중
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
1 MFI 형 ferri silicate를 이용한 벤젠의 하이드록시 촉매반응|Catalytic hydroxylation of benzene with nitrous oxide over MFI type ferrisilicate Zeolites.
전환섭, 이명우, 남상성, 김성보, 이규완|Chun Hwan-Sup, Lee Myung-Woo, Nam Sang-Sung, Kim Seong-Bo, Lee Kyu-Wan
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회