| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product 조현철, 정재경 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product 조현철, 정재경 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |