화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 First-principle Modeling of a Three-Way Catalytic Converter System
임산하, 최성무, 이종민
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
5 Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface
한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
4 Quantitative Comparison of Silica and Ceria Abrasive Contamination on PVA Brush and Its Effect on Post CMP Cleaning Process
조휘원, 류헌열, 황준길, 이찬희, 김여호, 김태곤, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
3 Cu CMP slurry 개발을 위한 첨가제 영향성 연구
김영준, 김재정
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
2 STI, Poly-Si CMP 공정 중의 연마입자 부착력 특성 평가
김진영, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
1 Preparation of ceria fine particles with high crystallinity by using various supercritical fluids
이은용, 이창하, 임종성, 이윤우
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회