학술대회 목록보기 번호 제목 1 오존수를 이용한 실리콘 웨이퍼 연마 후 지용성 왁스 제거 효율 및 습식 세정 공정의 최적화에 관한 연구이재환, 이승호, 김태곤, 박진구한국재료학회 2007년 봄 학술대회 1
