번호 | 제목 |
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3 |
The nanoparticle-elastomer hybrid fabrication for electrostatic chuck including PDMS and PU polymer 임한휘, 김백진 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
2 |
저 농도 폴리실라잔을 이용한 ESC 특성 향상에 대한 연구 김정연, 최재영, 손민규, 정창오, 김우병 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
1 |
Improvement of De-chuck Process by applying Two Stage Lifter System in Johnsen-Rahbek Electrostatic Chuck 이호석, 양경채, 박성우, 권승환, 염근영 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |