화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 The nanoparticle-elastomer hybrid fabrication for electrostatic chuck including PDMS and PU polymer
임한휘, 김백진
한국공업화학회 2020년 봄 학술대회
2 저 농도 폴리실라잔을 이용한 ESC 특성 향상에 대한 연구
김정연, 최재영, 손민규, 정창오, 김우병
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
1 Improvement of De-chuck Process by applying Two Stage Lifter System in Johnsen-Rahbek Electrostatic Chuck
이호석, 양경채, 박성우, 권승환, 염근영
한국재료학회 2016년 가을 학술대회