학술대회 목록보기 번호 제목 1 Focus ring의 재질 및 구조 변화를 통한 Focus ring의 etch resistance 향상에 관한 연구김수강, 양경채, 이호석, 이수정, 이원오, 염근영한국재료학회 2017년 봄 학술대회 1
