| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 1 |
High Density Plasma Etching of Hard Mask Materials of SiO2, α-C:H, and ZnO 라현욱, 옥치원, 이 석, 김상훈, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 1 |
High Density Plasma Etching of Hard Mask Materials of SiO2, α-C:H, and ZnO 라현욱, 옥치원, 이 석, 김상훈, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |