화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
28	Development of New Ethcing Gas for Cu Dry Etching and Dry Etching Process with Small Chelators 김철희, 정지원, 임은택, 김동욱 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
27	Superhydrophobic wetting behaviour of Si surfaces having microrods 김창구, 조성운, 김준현 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회
26	High density plasma reactive ion etching of Co₂MnSi thin films using a CH₃OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications 아드리안, 최지현, 황수민, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
25	Si Thin Film Photovoltaic Technology Chang Hong Shen, Ming-Hsuan Kao, Peichen Yu, Hao-Chung Kuo, Ching-Ting Lee, Jia-Min Shieh 한국재료학회 2013년 봄 학술대회
24	첨가물을 통한 Si₃N₄/SiO₂ 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 임상우, 서동완, 박찬형 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
23	High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma 이태영, 이일훈, 이광희, 정지원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
22	ILD CMP 공정에서 실리콘 산화막의 기계적 성질이 Scratch 발생에 미치는 영향 조병준, 권태영, 김혁민, 박진구 한국재료학회 2011년 가을 학술대회
21	Si₃N₄/SiO₂ 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 오지숙, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
20	Investigation on High Density Plasma Reactive Ion Etching of CoFeB Thin Films For Nonvolatile Magnetic Random Access Memory 김은호, 소우빈, 공선미, 정지원 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회
19	Investigation of plasma resistance material with Y-Si-Al-O-N oxynitride glass Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim 한국재료학회 2008년 봄 학술대회