| 번호 | 제목 |
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Effects of size, humidity and aging on particle removal with high energy laser shock wave cleaning 김진수, 박진구, 김태곤 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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레이저 충격파 세정 동안 오염입자들과 웨이퍼 표면 사이에서 작용 하는 adhesion 과 capiaalry force에 관한 연구 이재환, 강영재, 이상호, 홍의관, 박진구, 이종명 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
