화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Thermal atomic layer deposition of Molybdenum trioxide using metal organic precursor and H2O reactant.
이정훈, 최연식, 김병욱, 박현우, 이남규, 전형탁
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
5 수소 환원과 실리콘나이징 처리를 통한 MoSi2 코팅층 제작 (Fabrication of molybdenum disilicide coating layer by hydrogen reduction and siliconizing process)
전인목, 김진우, 박지연, 김영도
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
4 One step synthesis of advanced-CVD nanocomposite particles
송민영, 박영권, 진성민, 정종수
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
3 In-situ FT-IR diagnostics for monitoring of the aluminum chemical vapor deposition
박영재, 양재영, 강상우, 윤주영, 성대진, 신용현
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
2 Surface Reaction of TBOS (tetra-n-Butyl orthosilicate) on Si (100) by TPD and AES
이나경, 용기중
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
1 Tungsten Nitride Chemical Vapor Deposition for Cu Diffusion Barrier Using W(CO)6
이호기, 용기중
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회