| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
실리콘의 건식식각에서 Microtrench의 생성 메카니즘|Formation Mechanism of Microtrench in Dry Etching of Silicone 임연호,한윤봉|Y. H. Im,J. S. Park,Y. B. Hahn 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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실리콘의 건식식각에서 Microtrench의 생성 메카니즘|Formation Mechanism of Microtrench in Dry Etching of Silicone 임연호,한윤봉|Y. H. Im,J. S. Park,Y. B. Hahn 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |