| 번호 | 제목 |
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Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Multi-tile Push-pull Plasma Source 를 이용한 VHF (162 MHz)-PECVD 의 Silicon Nitride 증착 연구 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
