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학술대회 목록보기

번호	제목
15	Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol 이유종, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
14	Etching of SiO₂ in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 선은재, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
13	SiO₂ contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O₂/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
12	Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas 이유종, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
11	Angular dependence of SiO₂ etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas 선은재, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
10	Effect of mixing ratio in SiO₂ etching using hydrofluoroether plasmas 선은재, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
9	Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한 SiO₂ 식각 유상현, 김창구 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회
8	Plasma etching of SiO₂ using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
7	CMS 중공사막의 제조 및 이를 이용한 불화가스 분리 및 회수 김세종, 고형철, 하성용 한국공업화학회 2014년 봄 학술대회
6	Deep Si Etching using SF₆/C₄F₈ and SF₆/C₄F₆ Plasmas 권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회