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3D Feature profile simulation toward next generation high aspect ratio contact hole etching process under fluorocarbon and additive gas plasma
박재형, 유혜성, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Plasma etching behavior of RE-Si-Al-O glass (RE: Y, La, Gd)
이정기, 황성진, 이성민, 김형순
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
| 5 |
Investigation of plasma resistance material with Y-Si-Al-O-N oxynitride glass
Jungki Lee, Seongjin Hwang, Sungmin Lee, Hyungsun Kim
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher
이재원, 채희엽, 박근주
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher
이재원, 채희엽, 박근주, 채환국
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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In Situ Acrylic Acid Grafting onto PLLA Films and Dual Pore Scaffolds by Direct Plasma Treatment for Tissue Engineering
양희석, 안광덕, 김병수, 한동근
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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Plasma Chamber의 분석과 설계를 위한 종합적 Simulation Tool개발 : VIP-SEPCAD|Development of an Integrated Simulation Tool for Plasma Chamber Analysis and Design : VIP-SEPCAD
홍선표,황일선,김헌창,설용태|Seon Pyo Hong,Il Sun Hwang,Heon Chang Kim,Yong Tea Sul
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
