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Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석
양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Plasma driven catalytic system using Ag/SiO2 for oxidative coupling of methane (OCM) and subsequent regeneration at low temperature
이희수, 김도희
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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Properties of Inductively Coupled Plasma Source Applied to Internal Linear Antenna using Superimposed Dual Frequency
이수정, 김도한, 김태형, 김수강, 이원오, 김경남, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Oxidative coupling of methane in a dielectric barrier discharge (DBD) plasma-catalysis hybrid system using silica-supported catalysts
이희수, 김도희
한국공업화학회 2017년 봄 학술대회 |
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Titanium for Biomaterial and Its Surface Technology
Yongsoo Jeong
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source
김기석, 김기현, 지유진, 염근영
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Properties of Superimposed Internal Linear ICP Source Using Dual Frequency
김도한, 염근영, 김태형
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Multi-tile Push-pull Plasma Source 를 이용한 VHF (162 MHz)-PECVD 의 Silicon Nitride 증착 연구
김기석, 김기현, 지유진, 염근영
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Study on a new microwave remote plasma source for high flow rate(20 slm) F-radical generation
추원일, 유현종
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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Plasma characteristics of superimposed ICP source using dual frequency
이승민, 김태형, 이철희, 김경남, 배정운, 염근영
한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
