화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Preparation and Characterization of Porous Polyimide using Block Copolymer as Template
손민수, 하창식
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
4 The Effect of Porogen Structure on the Porous Low Dielectric Films
김수한, 차국헌, 한준희
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회
3 In-situ GISAXS study on the porous low-k thin films
허규용, 오원태, 이병두, 윤진환, 이문호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회
2 CHF3 플라즈마에서 다공성 저유전율 물질 식각의 각도 의존성|Angular Dependence of Porous Low-k Material Etch Rate in a CHF3 Plasma
황성욱,이겨레,민재호,문상흡|Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Jae-Ho Min,Sang Heup Moon
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
1 Investigation of Porogen Domains Behavior in Porogen/Poly(methylsilsesquioxane) Hybrids
민성규, 박재만, 송기태, 송민규, 진문영*, 이진규**, 윤도영**, 이희우***
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회