화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
18	Development of recycling process improvement technology for commercialization of etching solution generated from semiconductor process Se Chul Hong, Mi Young Son, Hee Yul Yang, Dipak Sen 한국재료학회 2021년 가을 학술대회
17	SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2019년 봄 학술대회
16	A novel polymer semiconductor processing technology toward highly cost effective, environment-friendly and ultra-uniform large areal transistor arrays 조장환, 정대성, 고영운, 장석태, 윤희준, 김윤희, 권순기 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
15	Feasibility Study of Waste Recycle in Perhydropolysiloxazane Synthesis for using Semiconductor Processing Materials 윤희찬, 염승종, 양대륙 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
14	Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Eteching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy 장해규, 채희엽 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
13	Real-Time Endpoint Detection for SiO₂ Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis 장해규, 김대경, 채희엽 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
12	Synthesis of electroless copper-deposited ZnO nanowires for methanol steam reforming 김상곤, 김진태, 여찬혁, 육영근, 임연호 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
11	Micro fuel cell with the nanogap channel polymer electrolyte membrane based on fully conventional semiconductor processing 김진태, 임연호, 조규형, RIZWAN, 여찬혁 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회
10	Fabrication of Novel micro fuel cell based on fully conventional semiconductor processing 김진태, 임연호, 여찬혁, Khan Mohammad Rizwan, 조규형 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
9	Sulfonation of fluorocarbon thin films for silicon based micro fuel cell applications Khan Mohammad Rizwan, 김진태, 최대현, 임연호 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회