번호 | 제목 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
5 |
VHF 플라즈마 소스를 이용한 PE-ALD 유전층 증착 공정 및 플라즈마에 의한 데미지 개선 오일권, 김태형, 염근영, 김강식, 이종훈, 이한보람, 김형준 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
4 |
Multi-tile Push-pull Plasma Source 를 이용한 VHF (162 MHz)-PECVD 의 Silicon Nitride 증착 연구 김기석, 김기현, 지유진, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
3 |
Unprecedented Method of Epitaxy Silicon Growth at 200 °C using Very High Frequency Plasma Enhanced Vapor Phase Epitaxy 김가현, 홍지은, 김남우, 윤현, 조임현, 서관용, 김동석 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
2 |
Effect of Growth Conditions on The Crystallinity of Silicon Film on Carbon Fiber Grwon by PECVD 채을용, 이규민, 정주영, 김태호, 손현철 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
1 |
CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구 권용현, 신경섭, 황기현, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |