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N2/He Plasma Inhibitor 개발을 통한 공간 분할 PE-ALD시스템에서의 메모리 Gap-fill공정 설계
이백주, 서동원, 황재순, 최재욱
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Introduction of BARC and UL for Photolithographic Process: Optical and Chemical Interactions at Interfaces of Polymer Thin Films
Jae Hwan Sim, 이정준, 안재윤, 임수정, 강유진, 정기정, 김수웅, 배영은, 임재봉
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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SiNx deposition using CSN-2 and H2 and N2 plasmas by remote plasma atomic layer deposition
Suhyeon Park, Chanwon Jung, Byunguk Kim, Jungwoo Kim, Yurim Kwon, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Characteristics of SiNx thin films by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using DTDN2-H2 precursor
임경필, 전형탁, 김현준, 정찬원, 조해원
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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반도체 습식 세정 기술 개발 동향 및 계면화학을 응용한 세정제 개발
송명근
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices
이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer
김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Improvement of hydrogen detection in a-plane GaN Schottky diode by surface roughening
백광현, 김지민, 장수환
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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MACE를 이용한 Ge 패터닝
조용진, 이승효, 임상우
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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표면 Texturing을 이용한 반분극 (11-22) GaN 쇼트키 다이오드 수소 센서의 특성 향상
백광현, 김지민, 장수환
한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
