| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4253 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Tetrakis(ethylmethylamino)titanium의 열분해에 관한 연구 |
| 초록 | TEMAT를 이용한 화학증착공정 연구를 위해 기상에서 TEMAT의 분해과정을 FT-IR을 이용해 조사하였다. 325도이상에서는 TEMAT가 급격히 분해 되기 시작하였는데 이는화학증착공정에서 시편의 가열온도을 설정하는데 있어서 고려되야 할것으로 판단된다. 그리고, 운반기체 종류에 따라 기상분해 정도가 N2>He, Ar>H2로 나타났다. 실제증착막 공정에서운반기체의 선택은 최종적인 증착막의 성질에 큰 영향을 미칠것이라 생각되어진다. 끝으로,kinetics의 연구에서 TEMAT의 기상분해 반응의 활성화 에너지 는 10.904kcal/mol임을 알수 있다 |
| 저자 | 김성재, 김도형 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | TEMAT; TiN; FT-IR; diffusion barrier |
| 원문파일 | 초록 보기 |
