| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교) |
| 권호 |
3권 2호, p.3109 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
Pb(ZrXTi1-X)O3 박막의 증착을 위한 Sol-Gel Precursor 용액들의 특성 평가 |
| 초록 |
Sol-gel 공정에 의한 PZT 박막의 증착을 위하여 acetic acid, 2-methoxyethanol, 2-ethylhexanoic acid 등을 사용하는 precursor solution들을 제조하여 여러가지 특성을 평가하였다. 사용된 기판은 Pt/Ti/SiO2/Si이었고 제조된 PZT precursor 용액들은 이 기판위에 spin coating 된 후에 열처리 되었다. 세가지의 다른 precursor 용액들로 부터 제조된 PZT 박막의 Surface morphology와 결정 구조들은 SEM과 XRD 분석에 의하여 관찰되었고 precursor의 decomposition mechanism과 perovskite phase 형성과의 관계가 TGA분석에 의하여 조사되었다. 최종적으로 Pt/PZT/Pt 케패시터를 제조하여 hysteresis loop를 측정하여 전기적 성질을 평가하였다.
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| 저자 |
정지원1, 김창정2
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| 소속 |
1삼성종합기술원, 2Materials Sector |
| 키워드 |
PZT; sol-gel; MOD; precursor; hysteresis loop
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
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