| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2008년 가을 (11/12 ~ 11/14, ICC 제주) |
| 권호 |
12권 2호 |
| 발표분야 |
정보전자소재 |
| 제목 |
LSI Multi Parallel Test Handler 수율 향상을 위한New Concept Contact Connecting Unit 개발에 관한 연구 |
| 초록 |
반도체 test 공정에서 test handler 는 package IC의 test를 위하여 test socket 위에서 contact 하여 package IC의 정확한 전기적 특성 test가 이루어지도록 하는 기계장치이다.현재 system LSI test 공정 에서 국산화 16 parallel test handler를 개발하는 과정에서test board 상단의 socket과 IC와의 contact 조건을 최적화하는데 많은 문제점이 발견되었다. 따라서 이를 해결할 신개념의 contact unit의 개발 필요성이 부각되었다. 본 논문에서는 16 parallel handler의 contact 조건을최적화하기 위하여 new concept contact connecting unit(CCU)의 개발결과 및 이에 대한 평가 결과를 제시하고자 한다. 결론적으로 기존의 CCU의 문제점을 개선함으로써 LSI 제품에 대한 16 parallel test 조건에서 최적화된 contact 특성을 구현할 수 있었다. |
| 저자 |
편정헌1, 이정윤2, 유수열2, 김호경2, 김원주2
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| 소속 |
1삼성전자 / SSIT, 2삼성전자 |
| 키워드 |
LSI Test; Test Handler; Contact Connecting Unit
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| E-Mail |
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