| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교) |
| 권호 |
17권 2호 |
| 발표분야 |
A. Information and Sensor Materials(정보소재 및 센서) |
| 제목 |
Sputtering법으로 제조한 Flexible 전자소자용 수분 투과 방지막의 특성평가 |
| 초록 |
종래의 유리기판 상에 제조된 OLED나 Solar Cell은 온도와 static 응력인가 등을 변수로 한 소자의 신뢰성에 관한 연구가 주로 수행되어 왔다. 최근, flexible OLED나 flexible solar cell의 개발이 활발히 진행됨에 따라 flexible 소자가 태생적으로 가지는 문제인 기계적 stress로 인해 발생하는 크랙과 제조공정상 발생할 수 있는 defect로 인한 수분침투로 발생하는 소자의 수명 단축에 관한 연구가 필요하다. 따라서 dynamic bending과 수분(humidity)이 열화에 미치는 영향에 대한 연구는 필수적이다. 본 연구에서는 금속 Al(99.99%)과 세라믹 Al2O3(99.99%)타겟을 sputtering법을 이용해 PET(125㎛) 필름에 순차적으로 Al2O3/ Al / Al2O3 샌드위치형태로 Al과 Al2O3를 증착 했다. 이를 통해 투과 방지막(barrier layer)를 복합 다층박막으로 제작하여 물리적 특성을 광학현미경과 SEM(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 형성된 패턴을 관찰하고 기계적 밴딩 조건(in-situ)에서 수분투과 방지막의 내구성 및 특성 변화를 S-N Curve와 in-situ resistance 분석을 통해 우수한 flexible 수분 투과 방지막의 조건을 찾는데 목적이 있다. 50×50mm 크기로 제작한 시편을 in-situ fatigue test장치로 104 Cycles Test를 시행하였다. 실험 결과 Test 전, 후에 시편을 WVTR 투습 측정한 결과 총 두께 500nm(Al-100nm, Al2O3-200nm)에서 10-4g/m2day의 투습율을 보였다. |
| 저자 |
이종우, 정은욱, 김회봉, 조영래
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| 소속 |
부산대 |
| 키워드 |
Flexible display; Sputtering; in-situ fatigue test; Reliability; WVTR
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| E-Mail |
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