화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2006년 가을 (10/27 ~ 10/28, 고려대학교)
권호 12권 2호, p.1747
발표분야 분리기술
제목 Cu 리플로우를 통한 Pd-Cu-Ni 합금 수소분리막 특성
초록 본 연구에서는 스퍼터를 사용하여 다공성 니켈지지체위에 팔라듐과 구리를 순차적으로 코팅 하였다. 그리고 650℃에서 2시간 Reflow 공정을 통해 제조된 분리막은 팔라듐-구리-니켈 삼원계의 합금형태를 이루었다.
이와 같은 분리막의 삼원계 형성과정은 유동성 좋은 구리가 350℃에서 리플로우 거동으로 표면을 덮고 500℃에서 팔라듐과 구리가 서로 합금을 형성한다. 이 과정에서 지지체인 니켈이 팔라듐과 구리의 코팅층으로 확산이 이루어져 팔라듐-구리-니켈 삼원계 합금 코팅층을 형성하게 된다.
본 연구에 의해 제조된 팔라듐-구리-니켈 분리막은 표면 미세기공이 존재하지 않아 무한대의 분리특성 및 수소취성에 강하고 높은 열적 안정성을 갖는다.
저자 김흥구1, 엄기연1, 문진욱1, 김동원1, 박종수2, 이신근3
소속 1경기대, 2한국에너지기술(연), 3고려대
키워드 Hydrogen membrane; Sputtering deposition; Reflow process; Pd-Cu-Ni ternary alloy membrane; Ni diffusion
E-Mail
원문파일 초록 보기