| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | 대기압 유전체 배리어 방전에 의해 증착된 SiOxCy(-H)박막의 구조 및 특성에 대한 연구 |
| 초록 | 플라즈마 중합 코팅 SiOxCy(-Hz)박막은 산소와 습기로부터 반응하는 금속을 보호하는 코팅이다. 산업적으로 적용가능성이 매우 높으나, 필름의 경도가 낮아 외장 부품등에 적용하기에는 어렵다. 본 연구에서는 대기압 유전체 베리어 방전을 이용하여 SiOxCy(-Hz)박막을 필름에 증착시키고 여러가지 미세 구조, 화학성분을 평가하였다. 박막의 미세구조 및 조성은 전극 사이의 가스조성, 적용전압, 간격거리에 의해 제어되었다. 열처리 전후 막의 화학결합 특성은 FT-IR 과 SEM을 이용하여 분석하였으며, nano-indentor를 통해 필름 경도를 측정하였고, 마모 시험기를 통해 마찰 계수 및 마모 특성를 분석하였다. 미세구조와 화학결합 그리고 표면에너지가 플라즈마 중합코팅에 경도 및 마찰 특성에 미치는 영향을 논의하고자 한다. |
| 저자 | 이영인, 김윤기 |
| 소속 | 한밭대 |
| 키워드 | 플라즈마중합코팅; 대기압유전체배리어방전; 경도; 마찰 |
