| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.1085 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 사진 식각 공정을 이용한 all polymer micro-DMFC 제조 공정에 관한 연구 |
| 초록 | 마이크로 연료전지는 휴대폰, 소형 디지털 장치뿐만 아니라 수년 내로 도래할 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), 이식가능한 의료용 초소형 기구 등 차세대 마이크로 시스템의 전원용으로 개발하기 위해 연구가 최근 활발하게 진행되고 있다. 미세 소자들의 작동전원으로서 상온, 상압 조건에서 구동이 가능한 DMFC (Direct Methanol Fuel Cell)가 주목받고 있다. 본 연구에서 제작된 all polymer micro-DMFC는 negative type의 photoresist인 SU-8을 사진 식각 공정만을 거쳐 연료전지 cell로 구현한 것이다. 새로운 개념의 all polymer micro-DMFC는 polymer로 된 cell과 Nafion을 접착하므로 실리콘 연료전지가 가지는 큰 계면저항이 감소하며, flexible한 연료전지를 얻을 수 있어 의료용 초소형 기구에의 응용이 용이하다. 또한 간단한 공정만을 거쳐 연료전지 cell이 제작되므로 두께 조절이 쉽고, 대량생산이 용이하다는 장점을 가진다. |
| 저자 | 차혜연1, 최후곤1, 남재도1, 이영관1, 조성민1, 이은숙2, 이정규2, 정찬화1 |
| 소속 | 1성균관대, 2(주)협진 I&C |
| 키워드 | micro-DMFC; SU-8; MEMS |
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