화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교)
권호 6권 1호, p.1865
발표분야 재료
제목 니켈 촉매를 이용한 탄소나노튜브의 성장과 특성연구
초록 RTCVD(rapid thermal chemical vapor deposition)법을 이용하여 탄소나노튜브의 성장을 시도하였다. 최적의 탄소나노튜브 성장을 위하여 기판, 및 성장온도, 시간, 공급기체의 유량을 변화시켜가며 성장한 결과, Ni/Al2O3 필렛 기판 위에 아세틸렌(C2H2)과 수소(H2)원료기체를 각각 10 sccm과 100 sccm을 공급하여 600℃, 30분 동안 성장한 탄소나노튜브가 최적임을 확인하였다. 그리고 성장한 나노튜브의 형상과 구조 및 특성을 관찰하기 위하여 주사전자현미경 (scanning electron microscopy ; SEM)과 라만분광법 (Ramanspectroscopy)을 이용하였다. 또한 사중극자 질량분석기 (quadrupole mass spectroscopy ;QMS)를 이용하여 탄소나노튜브의 성장에 참여하는 생성종과 탄소나노튜브의 구조를형성하는 반응메카니즘에 대하여 설명하였다.
저자 모영환, 박기수, 남기석
소속 전북대
키워드 Carbon nanotube; mechanism; QMS; SEM; FT-Raman; Ni etc.
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