| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (10/11 ~ 10/12, 일산킨텍스) |
| 권호 | 32권 2호 |
| 발표분야 | 기능성 고분자 |
| 제목 | Anti-stiction coating for imprint using Autoclave |
| 초록 | Ni stamper위에 100nm의 Si 코팅후 자기조립 단분자막(SAM)을 액상 코팅방식으로 형성 하였고, 내구성 및 열적 안정성을 검증하기 위해 반복적인 이형 및 압력인가test가 실시하였다. 20회 이상의 이형실험을 통해 열적, 기계적 안정성을 확인하고, 접촉각 측정을 통해 이형특성의 안정성도 고찰하였다. 이를 autoclave를 이용 공압 Imprint공법을 적용 fine pattern의 구조물을 얻을수 있었다. SAM코팅은 TRICHLOROSILANE을 사용하였으며 Hexane과 1000:1의 비율로 섞어서 stirrer에서 mixing하는 방식을 사용했으며, UV-ozone처리를 통한 이형성 제거 효과도 관찰하였다. Keywords: SAM, 이형, 접촉각, 액상법, Imprint |
| 저자 | 이상문, 나승현, 문진석, 곽정복 |
| 소속 | 삼성전기 종합(연) |
| 키워드 | SAM; 이형; 접촉각; 액상법; Imprint |
