| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 봄 (04/27 ~ 04/28, 연세대학교) |
| 권호 | 7권 1호, p.2282 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 플라즈마 반응기에서 미립자 성장 예측을 위한 discrete-sectional 모델 |
| 초록 | 본 연구에서는 discrete-sectional 모델을 사용하여 플라즈마 반응기 내에서 공정 변수 변화가 입자 충돌에 의한 입자 성장에 미치는 영향을 분석하였다. 또한 입자 성장에 입자 전하의 영향을 고려하기 위해 플라즈마 조건 변화에 따라 입자 전하 분포를 계산하여 입자 전하를 고려한 입자 성장 속도를 계산하였다. |
| 저자 | 김동주, 김교선 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | Discrete-Sectional Model; particle growth; silane plasma |
| 원문파일 | 초록 보기 |
