| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 |
5권 2호, p.4533 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
광학적 간섭현상을 이용한 다공성 실리콘의 분석 및 응용 |
| 초록 |
다공성 실리콘을 제조한 후 광학적 간섭현상을 이용하여 유효광학두께를측정하였다. 제조의 조건으로는 전류밀도와 에칭시간을 변화시켜 측정하였다.그 결과, 전류밀도나 에칭시간 증가에 따라 선형적으로 유효광학두께가 증가함을 알수 있었으며 PL분석을 통하여 전류밀도의 증가에 따라 다공성 실리콘의 다공층은 수직방향으로 생성됨을 알 수 있었다. 또한 다공성 실리콘에 에탄올 수용액을 여러 가지 농도로 적용시켜 본 결과 농도의 증가에 따라 적용 전 후의fringe 패턴의 차이가 증가하였고 이 차이를 비교하기 위하여 표준편차를 구하여그래프를 도시하면 에탄올 농도와 표준편차사이에 선형적인 관계가 성립함을 알수 있다.
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| 저자 |
민희경, 조성민
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| 소속 |
성균관대 |
| 키워드 |
Porous silicon; Anodization; Fabry-Perot fringe; Interference; Biosensor
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| E-Mail |
, |
| 원문파일 |
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