화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1997년 봄 (04/25 ~ 04/26, 동국대학교)
권호 3권 1호, p.1217
발표분야 재료
제목 Pyrolysis-GC/MS에 의한 EMC내의 에폭시 수지 판별 분석
초록 반도체 package용 봉지제로 가장 보편적으로 쓰이는 epoxy molding compound (EMC)는 경화된 후에는 유기 용매에 용해되지 않으며, solder조의 고온에서도 융해되지 않는 단단한 물질을형성하여 일반적인 유기 분석 방법으로는 분석이 가능하지 않다. 본 논문은 EMC시료의 분석을위해 Pyrolysis-GC와 Pyrolysis-GC/MS 분석법으로 IC packaging에 사용되는 네 가지 에폭시 수지에 대하여 경화 EMC에서의 수지 형 판별을 시도하였다. 그중 OCN형, bisphenol형,naphthalene형 수지의 Pyrolysis-GC chromatogram은 각 수지의 특징적 피이크들을 주었고 이피이크들은 경화시료에서 그대로 재현되었다. GC/MS를 통해 각 특징 피이크의 mass spectrum에서 구조식을 구하였다. 각 구조식은 EMC시료에서의 특정수지의 존재를 확인할 수 있는 구조를 보여주었다.
저자 김성훈, 조동현, 박내정, 오명숙
소속 홍익대
키워드 EMC; Pyrolysis-GC; Pyrolysis-GC/MS; epoxy resin
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