학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 1997년 봄 (04/25 ~ 04/26, 동국대학교) |
권호 | 3권 1호, p.1217 |
발표분야 | 재료 |
제목 | Pyrolysis-GC/MS에 의한 EMC내의 에폭시 수지 판별 분석 |
초록 | 반도체 package용 봉지제로 가장 보편적으로 쓰이는 epoxy molding compound (EMC)는 경화된 후에는 유기 용매에 용해되지 않으며, solder조의 고온에서도 융해되지 않는 단단한 물질을형성하여 일반적인 유기 분석 방법으로는 분석이 가능하지 않다. 본 논문은 EMC시료의 분석을위해 Pyrolysis-GC와 Pyrolysis-GC/MS 분석법으로 IC packaging에 사용되는 네 가지 에폭시 수지에 대하여 경화 EMC에서의 수지 형 판별을 시도하였다. 그중 OCN형, bisphenol형,naphthalene형 수지의 Pyrolysis-GC chromatogram은 각 수지의 특징적 피이크들을 주었고 이피이크들은 경화시료에서 그대로 재현되었다. GC/MS를 통해 각 특징 피이크의 mass spectrum에서 구조식을 구하였다. 각 구조식은 EMC시료에서의 특정수지의 존재를 확인할 수 있는 구조를 보여주었다. |
저자 | 김성훈, 조동현, 박내정, 오명숙 |
소속 | 홍익대 |
키워드 | EMC; Pyrolysis-GC; Pyrolysis-GC/MS; epoxy resin |
원문파일 | 초록 보기 |